| 仪器名称 | 纳米压痕仪 |
| 规格型号 | Nano Indenter G200 |
| 生产厂家 | 美国安捷伦 |
| 仪器简介 | Nano Indenter G200 是用于纳米力学测试的最精确、最灵活、最容易使用的仪器。电磁驱动器具有极佳的力和位移动态范围，可测量 6 个数量级（从纳米到毫米）的变形。其应用包括半导体、薄膜和 MEM（晶圆应用）；硬质涂层和 DLC 膜；复合材料、纤维和聚合物；金属和陶瓷；以及生物材料和生物学。 |
| 性能指标 | 位移能力 压头总的位移范围： ≥1.5mm 最大压痕深度：³200mm 位移分辨率： £0.02nm 载荷能力 载荷分辨率：£50nN 高载荷选件： 10N /50nN DCM压痕选件： 10mN/1nN 样品台 定位精度： 1um 定位控制模式：全自动遥控 光学显微镜 镜镜头： 10X 和40X 加载方式 恒载荷速率、恒位移速率、恒应变速率以及阶梯加载。 |
| 测试项目 | 测试材料微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量 |
| 样品要求 | 上下表面平行并经抛光，直径不超过30mm，高度不超过35mm，提供泊松比。 |
| 设备负责人 | 设备负责人：叶林凤 联系电话：021-39192229 Email：yelinfeng@sinap.ac.cn |
