电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线，对特征性X射线进行分光和强度测定，得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器（WDS），与能量色散型X 射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特点。本实验室装备有日本岛津公司生产的EPMA-1720电子探针显微分析仪，配备4道波谱仪，同时配备AZtec X-Max 80牛津能谱仪，可对试样进行微小区域成分分析，可对5B～92U范围的元素进行定性和定量分析。

分光晶体：2 个/ 道（自动晶体交换）

分光器数：4道

分析元素：4Be～92U

能量分辨率：>127eV(MnKα处)

加速电压： 0.1～30 kV（0.1kV步进。5kV 以下可以10V 步进设定）

二次电子像分辨率：W灯丝：6 nm（加速电压30 kV）

放大倍率：40倍～400,000倍（WD = 6.35mm分析高度）

最大分析区域：90mm × 90mm

主要功能和应用：

形貌分析：材料微区内的二次电子、背散射电子、特征X射线、吸收电子成像等形貌信息。

定性分析：材料微区内化学成分定性分析 (全元素分析)、线扫描分析(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。

定量分析：材料微区内全元素有标定量分析。

状态分析：材料微区内元素所处的化学状态分析。

定性分析、线扫描分析、面扫描分析、定量分析、元素状态分析

样品直径不要超过30mm，样品高度不要超过20mm，样品表面要尽量平整（抛光），样品要导电。