| 仪器名称 | 飞行时间——二次离子质谱仪 |
| 规格型号 | SurfaceSeer-Ⅰ |
| 生产厂家 | 英国Kore |
| 仪器简介 | 飞行时间——二次离子质谱仪（TOF-SIMS）采用质谱技术分析材料表面原子层以确定表面元素组成和分子结构。其工作原理是样品表面被高能聚焦的一次离子轰击时，一次离子注入被分析样品，把动能传递给固体原子，通过层叠碰撞，引起中性粒子和带正负电荷的二次离子发生溅射，再通过测量不同二次离子的飞行时间测量它们的质量/荷质比，对被轰击的样品的表面和内部元素分布特征进行分析。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息、分析化合物组分和分子构成，灵敏度好、质量分辨率高、可测量的分子量范围大，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。 |
| 性能指标 | 高分辨质谱： 灵敏度：灵敏度：10^9个原子/cm^2（上标） 可检测质量范围：1-3000 amu 质量分辨率：原子：1000 (FWHM)；有机物：2000 (FWHM) 质量准确度：0.56 mamu 微区成像： SIMS化学成像，空间分辨率：0.2 μm 二次电子成像 深度剖面：深度分辨率：1.1 nm 一次离子源：AuGa液态金属离子 离子束能量：25 keV 脉冲微区尺寸：0.2 μm（低电流），0.5 μm（高电流） 离子刻蚀枪：Cs+离子枪，离子束能量：0.5-5 keV 正、负离子SIMS模式一键切换 通氧，帮助提高正二次离子产额 低能脉冲电子枪（30eV），用于绝缘样品分析 |
| 测试项目 | 固体表面全元素和1-3000有机物质谱分析，痕量元素/有机物定量，二次离子成像、痕量元素深度分布分析 |
| 样品要求 | 薄样品架：16.5×13.5 mm以内，厚度方向500μm以内厚样品架：16.5×13.5 mm以内，厚度方向约1 mm4位置可变厚度样品架：8×8 mm以内，厚度方向6 mm以内 |
| 设备负责人 | 设备负责人：汪雪 联系电话：021-39194539 Email：wangxue@sinap.ac.cn |
