| 仪器名称 | 扫描质子微探针（SPM） |
| 规格型号 | 研制 |
| 生产厂家 | 澳大利亚墨尔本大学 |
| 仪器简介 | 利用SPM系统，可综合采用PIXE、PIGE、ERD、RBS等离子束分析方法，实现多种元素成份分析；可测定微区元素分布。可以用于材料、生物医学、环境、地质样品的多种微量化学元素成份和微区结构的无损分析 |
| 性能指标 | （1）质子微束空间分辨率1微米 （2）化学元素分析检出限1ppm （3）真空度优于1*10-4 Pa （4）探测系统包括真空靶室、前置放大和Si(Li)探测器，电子学系统包括高压、主放、堆积排除、ADC转换等，微机多道能谱仪。 |
| 测试项目 | 1、PIXE分析2、RBS分析3、ERD分析4、二维元素分布成像5、（特殊）微束实验 |
| 样品要求 | 不影响系统真空的无腐蚀性、无爆炸性、无剧毒性的粉体或块体 |
| 设备负责人 | 设备负责人：雷前涛 联系电话：021-39194813 Email：leiqiantao@sinap.ac.cn |
