仪器名称 | 扫描电子显微镜(Merlin Compact) |
规格型号 | Merlin Compact |
生产厂家 | 德国蔡司 |
仪器简介 | |
性能指标 | 分辨率: High Vaccum mode 1.0nm @ 15kV WD=2mm 放大倍数 :12x ~ 2,000,000x 电子枪: 热场发射 样品电流:5pA ~ 20nA 加速电压: 0.05kV ~ 30kV |
测试项目 | 二次电子像:高分辨率的样品表面形貌成像背散射电子像:表面形貌成像原子序数衬度成像能谱分析:材料微区成分元素种类与含量分析电子背散射衍射:电子通道花样晶体取向、位向差分析、织构分析、相鉴定 |
样品要求 | 样品必须为固体样品,禁止带挥发性物质的样品进入电镜样品室;粉体样品须固定在导电胶上,并用希尔球吹干净,才可进入电镜样品室;镶样样品必须在干燥箱中干燥,或预抽真空后,才可进入电镜样品室。 |
设备负责人 | 设备负责人:何绥霞 联系电话:021-39194761 Email:hesuixia@sinap.ac.cn |