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电子探针显微分析仪
规格型号:EPMA-1720
生产厂家:日本岛津
设备状态: 良好
实验室认证:无
设备负责人: 贾彦彦
仪器详细信息
仪器名称 电子探针显微分析仪
规格型号 EPMA-1720
生产厂家 日本岛津
仪器简介

电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线,对特征性X射线进行分光和强度测定,得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器(WDS),与能量色散型X 射线分光器(EDS)相比,具有高分辨率的特点。本实验室装备有日本岛津公司生产的EPMA-1720电子探针显微分析仪,配备4道波谱仪,同时配备AZtec X-Max 80牛津能谱仪,可对试样进行微小区域成分分析,可对5B~92U范围的元素进行定性和定量分析。

性能指标

分光晶体:2 个/ 道(自动晶体交换)

分光器数:4道

分析元素:4Be~92U

能量分辨率:>127eV(MnKα处)

加速电压: 0.1~30 kV(0.1kV步进。5kV 以下可以10V 步进设定)

二次电子像分辨率:W灯丝:6 nm(加速电压30 kV)

放大倍率:40倍~400,000倍(WD = 6.35mm分析高度)

最大分析区域:90mm × 90mm

主要功能和应用:

形貌分析:材料微区内的二次电子、背散射电子、特征X射线、吸收电子成像等形貌信息。

定性分析:材料微区内化学成分定性分析 (全元素分析)、线扫描分析(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。

定量分析:材料微区内全元素有标定量分析。

状态分析:材料微区内元素所处的化学状态分析。

测试项目

定性分析、线扫描分析、面扫描分析、定量分析、元素状态分析

样品要求

样品直径不要超过30mm,样品高度不要超过20mm,样品表面要尽量平整(抛光),样品要导电。

设备负责人 设备负责人:贾彦彦
联系电话:
Email:jiayanyan@sinap.ac.cn
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