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纳米压痕仪
规格型号:Nano Indenter G200
生产厂家:美国安捷伦
设备状态: 良好
实验室认证:无
设备负责人: 叶林凤
仪器详细信息
仪器名称 纳米压痕仪
规格型号 Nano Indenter G200
生产厂家 美国安捷伦
仪器简介

Nano Indenter G200 是用于纳米力学测试的最精确、最灵活、最容易使用的仪器。电磁驱动器具有极佳的力和位移动态范围,可测量 6 个数量级(从纳米到毫米)的变形。其应用包括半导体、薄膜和 MEM(晶圆应用);硬质涂层和 DLC 膜;复合材料、纤维和聚合物;金属和陶瓷;以及生物材料和生物学。

性能指标

位移能力

压头总的位移范围: ≥1.5mm

最大压痕深度:³200mm

位移分辨率: £0.02nm

载荷能力
最大载荷(标配): ³500 mN

载荷分辨率:£50nN

高载荷选件: 10N /50nN

DCM压痕选件: 10mN/1nN

样品台

定位精度: 1um

定位控制模式:全自动遥控

光学显微镜
总的放大倍率: 250倍和1000倍

镜镜头: 10X 和40X

加载方式

恒载荷速率、恒位移速率、恒应变速率以及阶梯加载。

测试项目

测试材料微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量

样品要求

上下表面平行并经抛光,直径不超过30mm,高度不超过35mm,提供泊松比。

设备负责人 设备负责人:叶林凤
联系电话:
Email:yelinfeng@sinap.ac.cn
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